기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
졸겔 법으로 제조한 압전 센서용 PZT 박막의 결정 배향 및 전기적 특성 연구
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 졸겔 법으로 제조한 압전 센서용 PZT 박막의 결정 배향 및 전기적 특성 연구
저자명
변진무,이호년,이홍기,이성의,이희철,Byun. Jin-Moo,Lee. Ho-Nyun,Lee. Hong-Kee,Lee. Seong-Eui,Lee. Hee-Chul
간행물명
센서학회지
권/호정보
2010년|19권 3호|pp.202-208 (7 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

This study examined the dependency of crystalline orientation and electric properties of sol-gel PZT film on hydrolysis, a $PbTiO_3$ seed layer and a concentration of sol-gel solution. The PZT thin films were prepared by using 2-Methoxyethanol-based sol-gel method and spin-coating on Pt/Ti/$SiO_2$/Si substrates. The 1-${mu}m$-thick PZT films were coated and then fired in a furnace by direct insert method. The highly (111) oriented PZT film of pure perovskite structure could be obtained. We could control the degree of orientation by various parameters such as hydrolysis, a $PbTiO_3$ seed layer and a concentration of sol-gel solution. The highest measured remanent polarization, dielectric constant and piezoelectric coefficient are $24.16;{mu}C/cm^2$, 2808, and 159 pC/N, respectively.