본 연구에서는 마이크로 시험편에 대하여 하중제어 인장-인장의 피로시험이 가능한 피로시험기를 개발하였다. 전자기식 액추에이터를 이용하였으며, 이 시험기를 이용하여 인장시험 뿐만 아니라 넓은 주파수 영역에서의 피로시험이 가능하다. 또한 피로시험중에도 고해상도로 마이크로 시험편의 되풀이 변형률을 측정할 수 있는 간섭변위계를 사용하였다. 피로시험기와 변위계는 안정적이고 그 응답속도도 매우 빨라서, 피로시험중에도 연속적으로 변위를 측정할 수 있다.
In this study, a fatigue testing system capable of performing load-controlled tension-tension tests for micro-specimens was developed by using an electro-magnetic actuator. Using this system, fatigue testing as well as tensile testing can be performed over a wide range of loading frequencies. Further, a new laser interferometric strain/displacement gage was used during fatigue testing to obtain high-resolution measurements of the cyclic deformation of thin films. Since the testing machine and the displacement gage are stable and show quick responses, the displacement can be measured instantaneously and continuously during fatigue testing, and high-resolution results can be obtained.
