- An ultra-high pressure sensor based on SOI piezoresistive material
- An ultra-high pressure sensor based on SOI piezoresistive material
- ㆍ 저자명
- Zhao. Yulong,Fang. Xudong,Jiang. Zhuangde,Zhao. Libo
- ㆍ 간행물명
- Journal of mechanical science and technology
- ㆍ 권/호정보
- 2010년|24권 8호|pp.1655-1660 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
