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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
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  • RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
저자명
정성진,김덕규,김홍배,Jeong. Seong-Jin,Kim. Deok-Kyu,Kim. Hong-Bae
간행물명
반도체디스플레이기술학회지
권/호정보
2010년|9권 4호|pp.83-86 (4 pages)
발행정보
한국반도체디스플레이기술학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The transparent electrode properties of ITO films deposited by RF magnetron sputtering with process pressure were investigated. The ITO thin films was deposited on a glass substrate using a target with 3in diameter sintered at a ratio of $In_2O_3$ : $SnO_2$ (9 : 1). 200-nm-thick ITO thin films were manufactured by various process pressures ($2.0{ imes}10^{-2}$, $7.0{ imes}10^{-3}$ and $2.0{ imes}10^{-3}$ Torr). The optical transmittance and resistivity of the deposited ITO thin films showed a relatively satisfactory result under $10^{-2}$ Torr. For high process pressure, the optical transmittance was below 80%, while for low process pressure, the optical transmittance was above 85%. As a result of of mobility, resistivity and carrier concentration by Hall measurement, we obtained satisfactory properties to apply into a transparent conducting thin film.