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XPS Study of MoO3 Interlayer Between Aluminum Electrode and Inkjet-Printed Zinc Tin Oxide for Thin-Film Transistor
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  • XPS Study of MoO3 Interlayer Between Aluminum Electrode and Inkjet-Printed Zinc Tin Oxide for Thin-Film Transistor
  • XPS Study of MoO3 Interlayer Between Aluminum Electrode and Inkjet-Printed Zinc Tin Oxide for Thin-Film Transistor
저자명
Choi. Woon-Seop
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2011년|12권 6호|pp.267-270 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In the process of inkjet-printed zinc tin oxide thin-film transistor, the effect of metallic interlayer underneath of source and drain electrode was investigated. The reason for the improved electrical properties with thin molybdenum oxide ($MoO_3$) layer was due to the chemically intermixed state of metallic interlayer, aluminum source and drain, and oxide semiconductor together. The atomic configuration of three Mo $3d_3$ and $3d_5$ doublets, three different Al 2p core levels, two Sn $3d_5$, and four different types of oxygen O 1s in the interfaces among those layers was confirmed by X-ray photospectroscopy.