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Micro-Patterning on Non-Planar Surface using Flexible Microstencil
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  • Micro-Patterning on Non-Planar Surface using Flexible Microstencil
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저자명
Choi. Jin-Ho,Kim. Gyu-Man
간행물명
International journal of precision engineering and manufacturing
권/호정보
2011년|12권 1호|pp.165-168 (4 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A method for fabrication of flexible stencil was studied. Flexibility of the stencil allows micropatterning on a curved surface by material deposition or material removal (etching) through patterned hole of the stencil. In this study, low mechanical stability of the thin stencil membrane was improved by bonding the membrane with rim supporter which is thick and strong enough for easy handling of the stencil. Both of the membrane and rim structure were made of elastomer, PDMS using molding process from SU-8 master mold. The application test of shadow deposition and etching on underlying nonplanar surface using the fabricated flexible stencil mask showed the feasibility of the suggested technique into micro-patterning on a curved surface.