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Roll-to-Roll UV 나노 임프린팅 리소그래피에 의한 대면적 17인치의 나노 와이어 그리드의 제작
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  • Roll-to-Roll UV 나노 임프린팅 리소그래피에 의한 대면적 17인치의 나노 와이어 그리드의 제작
저자명
허종욱,남수용,Huh. Jong-Wook,Nam. Su-Yong
간행물명
한국인쇄학회지
권/호정보
2011년|29권 3호|pp.17-30 (14 pages)
발행정보
한국인쇄학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The polarizer is an important optical element used in a variety of applications. Nano-wire grid polarizers in the form of sub-wavelength metallic gratings are an attractive alternative to conventional polarizers, because they provide high extinction ratio. This study has been carried out to fabrication of the 17inch area size nano-wire grid polarizer(NWGP) The master for NWGPs with a pitch of 200nm and the area size $730mm{ imes}450mm$ were fabricated using laser interference lithography and aluminum sputtering and wet etching. And The NWGP fabrication process was using by the Roll to-Roll UV imprinting and was applied to flexible PET film. The results were a transmission of light (Tp) 46.7%, reflectance (Rs) 40.1% and Extinction ratio of above 16 for the visible light range.