- 상온에서 RF 스퍼터링 방법으로 증착한 Hafnium Oxide 박막의 저항 변화 특성
- ㆍ 저자명
- 한용,조경아,윤정권,김상식,Han. Yong,Cho. Kyoung-Ah,Yun. Jung-Gwon,Kim. Sang-Sig
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2011년|24권 9호|pp.710-712 (3 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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