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Electrical and Optical Properties of Ga-doped SnO2 Thin Films Via Pulsed Laser Deposition
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  • Electrical and Optical Properties of Ga-doped SnO2 Thin Films Via Pulsed Laser Deposition
  • Electrical and Optical Properties of Ga-doped SnO2 Thin Films Via Pulsed Laser Deposition
저자명
Sung. Chang-Hoon,Kim. Geun-Woo,Seo. Yong-Jun,Heo. Si-Nae,Huh. Seok-Hwan,Chang. Ji-Ho,Koo. Bon-Heun
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2011년|44권 4호|pp.144-148 (5 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$Ga_2O_3$ doped $SnO_2$ thin films were grown by using pulsed laser deposition (PLD) technique on glass substrate. The optical and electrical properties of these films were investigated for different doping concentrations, oxygen partial pressures, substrate temperatures, and film thickness. The films were deposited at different substrate temperatures (room temperature to $600^{circ}C$). The best opto-electrical properties is shown by the film deposited at substrate temperature of $300^{circ}C$ with oxygen partial pressure of 80 m Torr and the gallium concentration of 2 wt%. The as obtained lowest resistivity is $9.57{ imes}10^{-3};{Omega}cm$ with the average transmission of 80% in the visible region and an optical band gap (indirect allowed) of 4.26 eV.