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공초점 현미경용 장초점 마이크로렌즈 제작
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  • 공초점 현미경용 장초점 마이크로렌즈 제작
저자명
김기홍,임형준,정미라,이재종,최기봉,이형석,도이미,Kim. Gee-Hong,Lim. Hyung-Jun,Jeong. Mi-Ra,Lee. Jae-Jong,Choi. Kee-Bong,Lee. Hyung-Seok,Do. Lee-Mi
간행물명
한국생산제조시스템학회지
권/호정보
2011년|20권 4호|pp.472-477 (6 pages)
발행정보
한국생산제조시스템학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper shows the method of fabrication of a micro lens array comprised of a Nipkow disk used in a large-area, high-speed confocal microscopy. A Nipkow disk has two components, a micro lens array disk and a pinhole array disk. The microlens array focuses illumination light onto the pinhole array disk and redirects reflected light from a surface to a sensor. The micro lens which are positioned in order on a disk have a hemispheric shape with a few tens of micron in diameter, and can be fabricated by a variety of methods like mechanical machining, semiconductor process, replication process like imprinting process. This paper shows how to fabricate the micro lens array which has a long focal length by reflow and imprinting process.