- 고내압 BCD 소자의 제작 및 전기적 특성에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 김광수,구용서,Kim. Kwang-Soo,Koo. Yong-Seo
- ㆍ 간행물명
- 전기전자학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2011년|15권 1호|pp.37-42 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
본 논문에서는 0.35 um BCD 공정을 통한 고내압 BCD 소자와 새로운 구조의 BCD 소자를 제작하여 전기적 특성을 분석하였다. 20 V급 BJT 소자, 30/60 V급 HV-CMOS, 40/60 V급 LDMOS 소자의 전기적 특성을 분석하고, 동일 공정을 통해 높은 전류 이득을 갖는 수직/수평형 NPN BJT와 고내압 특성의 LIGBT 소자를 제안하였다. 제안된 수직/수평형 NPN BJT의 항복전압은 15 V, 전류이득은 100으로 측정되었으며, 고내압 특성의 LIGBT의 항복전압은 195 V, 문턱전압은 1.5 V, Vce,sat은 1.65 V로 측정 되었다.
In this paper, the high-voltage novel devices have been fabricated by 0.35 um BCD (Bipolar-CMOS-DMOS) process. Electrical characteristics of 20 V level BJT device, 30/60 V HV-CMOS, and 40/60 V LDMOS are analyzed. Also, the vertical/lateral BJT with the high-current gain and LIGBT with the high-voltage are proposed. In the experimental results, vertical/lateral BJT has breakdown voltage of 15 V and current gain of 100. The proposed LIGBT with the high-voltage has breakdown voltage of 195 V, threshold voltage of 1.5 V, and Vce, sat of 1.65 V.