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탄화규소 단결정 성장 시 종자정 도핑농도 영향에 따른 결정 다형변화 연구
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  • 탄화규소 단결정 성장 시 종자정 도핑농도 영향에 따른 결정 다형변화 연구
저자명
박종휘,양태경,이상일,정정영,박미선,이원재,Park. Jong-Hwi,Yang. Tae-Kyoung,Lee. Sang-Il,Jung. Jung-Young,Park. Mi-Seon,Lee. Won-Jae
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2011년|24권 10호|pp.799-802 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, SiC single-crystal ingots were prepared on two seed crystals with different doping level by using the physical vapor transport (PVT) technique; then, SiC crystal wafers sliced from the grown SiC ingot were systematically investigated to find the effect of seed doping level on the doping concentration and crystal quality of the SiC. To exclude extra effects induced by adjustment of the process parameters, we simultaneously grew the SiC crystals on two seed crystals with different level, which were fabricated from previous two SiC crystal ingots.