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Sb 광도핑에 의한 Ge1Se1Te2 박막의 상변화 메모리 특성
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  • Sb 광도핑에 의한 Ge1Se1Te2 박막의 상변화 메모리 특성
저자명
남기현,김장한,정홍배,Nam. Ki-Hyun,Kim. Jang-Han,Chung. Hong-Bay
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2012년|25권 5호|pp.329-333 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

For phase transition method, good record sensitivity, low heat radiation, fast crystallization and hi-resolution are essential. Also, a retention time is very important part for phase-transition. In our past papers, we chose composition of $Ge_1Se_1Te_2$ material to use a Se factor which has good optical sensitivity than conventional Sb. Sb/Ge-Se-Te thin films are fabricated and irradiated with UV light source to investigate a reversible phase change by Sb-doped condition. Because of Sb atoms, the Sb inserted sample showed better performance than conventional one. We should note that this novel one showed another possibility for phase-change random access memory.