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반도체 클린룸용 에어와셔 외기공조시스템의 에너지소비량에 관한 실험적 연구
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  • 반도체 클린룸용 에어와셔 외기공조시스템의 에너지소비량에 관한 실험적 연구
저자명
김기철,김형태,송근수,유경훈,손승우,신대건,박덕준,Kim. Ki-Cheol,Kim. Hyung-Tae,Song. Gen-Soo,Yoo. Kyung-Hoon,Son. Seung-Woo,Shin. Dae-Kun,Park. Dug-Ju
간행물명
설비공학논문집
권/호정보
2012년|24권 4호|pp.297-305 (9 pages)
발행정보
대한설비공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In recent large-scale semiconductor manufacturing clean rooms, the energy consumption of outdoor air conditioning systems to heat, humidify, cool and dehumidify incoming outdoor air represents about 45% of the total air conditioning load required to maintain a clean room environment. Therefore, the energy performance evaluation and analysis of outdoor air conditioning systems is useful for reducing the outdoor air conditioning load for a clean room. In the present study, an experiment was conducted to compare the energy consumption of outdoor air conditioning systems with a simple air washer, an exhaust air heat recovery type air washer and a DCC return water heat recovery type air washer. It was shown from the present lab-scale experiment with an outdoor air flow of 1,000 $m^3/h$ that the exhaust air heat recovery type and DCC return water heat recovery type air washer outdoor air conditioning systems were more energy-efficient for the summer and winter operations than the simple air washer outdoor air conditioning system and furthermore, the DCC return water heat recovery type one was the most energy-efficient in the winter operation.