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Y2O3-카본 복합체의 전기전도성에 미치는 소결온도의 영향
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  • Y2O3-카본 복합체의 전기전도성에 미치는 소결온도의 영향
저자명
최관영,오윤석,김성원,김형순,박종훈,이성민,Choi. Kwan-Young,Oh. Yoon-Suk,Kim. Sung-Won,Kim. Hyung-Sun,Park. Chong-Hun,Lee. Sung-Min
간행물명
한국세라믹학회지
권/호정보
2012년|49권 2호|pp.173-178 (6 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The $Y_2O_3$ ceramics have been widely used as plasma resistant materials in the semiconductor industry. In this study, composites made of plasma resistant $Y_2O_3$ and electrically conductive carbon have been produced. The electrical properties of this composite were measured with respect to the size, volume fraction of the conductive carbon phase, and sintering temperature. When micro-sized carbon was used, the composites were insulating up to 5 wt% addition of the carbon. However, when nano-sized carbon of around 60 ~100 nm was used, the composites became conductive over threshold volume fraction of carbon, which increased with increasing sintering temperature. This behavior of electrical conductivity of the composites was discussed in terms of the percolation theory. The percolation threshold of the conductivity seemed to be affected by the grain growth and coalescences of dispersed conductive carbon phases with grain growth of matrix $Y_2O_3$.