- Fast Evaluation of Period Deviation and Flatness of a Linear Scale by Using a Fizeau Interferometer
- Fast Evaluation of Period Deviation and Flatness of a Linear Scale by Using a Fizeau Interferometer
- ㆍ 저자명
- Kim. Woo Jae,Shimizu. Yuki,Kimura. Akihide,Gao. Wei
- ㆍ 간행물명
- International journal of precision engineering and manufacturing
- ㆍ 권/호정보
- 2012년|13권 9호|pp.1517-1524 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
