본 논문에서는 비접촉 마이크로웨이브 프루브 시스템의 I/Q demodulator를 위한 MMIC (Monolithic Microwave Integrated Circuit) mixer chip을 GaAs p-HEMT 공정의 Schottky 다이오드를 이용하여 설계 및 제작하였다. 프루브 시스템의 I/Q demodulator 구조를 단순화하기 위해 single balanced 구조의 mixer를 채택하였다. Single balanced mixer에서 $90^{circ}$hybrid coupler와 ${lambda}/4$ 전송선로를 이용하여 $180^{circ}$hybrid를 설계하였으며 이를 MIM 커패시터와 spiral 인덕터를 이용하여 구현함으로써 mixer chip의 크기를 줄일 수 있었다. On-wafer 측정 결과, 본 논문의 MMIC mixer는 1650MHz ~ 2050MHz의 RF 및 LO 주파수 대역을 포함하고 있으며, 응용 주파수 대역 내에서 RF 및 LO의 변화에 대해 약 12dB 이하의 평탄한 변환손실(conversion loss) 특성을 나타내었다. 또한, MMIC mixer chip은 $2.5mm{ imes}1.7mm$의 초소형 크기를 가지며 LO-IF 및 RF-IF의 격리도는 각각 43dB 및 23dB 이상의 특성을 나타내었다.
A MMIC (Monolithic Microwave Integrated Circuit) mixer chip using the Schottky diode of an GaAs p-HEMT process has been developed for the I/Q demodulator of non-contact near field microwave probing system. A single balanced mixer type is adopted to achieve simple structure of the I/Q demodulator. A quadrature hybrid coupler and a quarter wavelength transmission line for 180 degree hybrid are realized with lumped elements of MIM capacitor and spiral inductor to reduce the mixer chip size. According to the on-wafer measurement, this MMIC mixer covers RF and LO frequencies of 1650MHz to 2050MHz with flat conversion loss. The MMIC mixer with miniature size of $2.5mm{ imes}1.7mm$ demonstrates conversion loss below 12dB for both variations of RF and LO frequencies, LO-to-IF isolation above 43dB and RF-to-IF isolation above 23dB, respectively.
