- 하향식 마이크로 제조공정과 상향식 자가조립을 이용한 나노소재 박막 디바이스 구현
- ㆍ 저자명
- 이동진,고승환,Lee. Dong-Jin,Go. Seung-Hwan
- ㆍ 간행물명
- 기계저널 : 大韓機械學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2012년|52권 6호|pp.48-51 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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이 글에서는 하향식 마이크로 제조공정을 이용하여 디바이스 플랫폼을 만들고 상향식 자가조립으로 나노소재 박막을 만드는 공정을 소개하고, 나노소재 박막의 선택적 패터닝을 통해 디바이스를 구현한 연구에 대해 소개하고자 한다.