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적외선 센서로의 응용을 위한 반도성 YBa2Cu3O7-x 박막의 제작 및 전기적 특성
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  • 적외선 센서로의 응용을 위한 반도성 YBa2Cu3O7-x 박막의 제작 및 전기적 특성
저자명
정재운,조서현,이성갑,Jeong. Jae-Woon,Jo. Seo-Hyeon,Lee. Sung-Gap
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2012년|61권 9호|pp.1296-1299 (4 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$YBa_2Cu_3O_{7-x}$ thin films were fabricated by the spin-coating method on $SiO_2$/Si substrate using an alkoxide-based sol-gel method. The structural and electrical properties were investigated for various 1st annealing temperature. Due to the formation of the polycrystalline single phase, synthesis temperature was observed at around $720^{circ}C-800^{circ}C$. $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ thin films with the 1st annealing temperature of $450^{circ}C{sim}500^{circ}C$ showed the single XRD patterns without the second phase, such as $YBa_2Cu_4O_8$. The thickness of films was approximately $0.23{mu}m{sim}0.27{mu}m$. Aerage grain size, resistance and temperature coefficient of resistance (TCR) of $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ thin films with the 1st annealing temperature of $500^{circ}C$ were $0.27{mu}m$, $59.7M{Omega}$ and -3.7 %/K, respecvitely.