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디스플레이 패널에 집적이 가능한 적외선 포토센서
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  • 디스플레이 패널에 집적이 가능한 적외선 포토센서
저자명
전호식,허양욱,이재표,한상윤,배병성,Jeon. Ho-Sik,Heo. Yang-Wook,Lee. Jae-Pyo,Han. Sang-Youn,Bae. Byung-Seong
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2012년|29권 11호|pp.1164-1169 (6 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents a study of an integrated infrared (IR) photo sensor for display application. We fabricated hydrogenated amorphous silicon thin film transistor (a-Si:H TFT) and hydrogenated amorphous silicon germanium thin film transistor (a-SiGe:H TFT) which were bottom gate structure. We investigated the dependence of a-SiGe:H TFT characteristics on incident wavelengths. We proposed photo sensor which responded to wavelengths of IR region. Proposed pixel circuit of photo sensor was consists of switch TFT and photo TFT, and one capacitor. We developed integrated photo sensor circuit and investigated the performance of the proposed sensor circuit according to the input wavelengths. The developed photo sensor circuit with a-SiGe:H TFT was suitable for IR.