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Reactive Sputtering Process for $CuIn_{1-x}Ga_xSe_2$ Thin Film Solar Cells
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  • Reactive Sputtering Process for $CuIn_{1-x}Ga_xSe_2$ Thin Film Solar Cells
  • Reactive Sputtering Process for $CuIn_{1-x}Ga_xSe_2$ Thin Film Solar Cells
저자명
Park. Nae-Man,Lee. Ho Sub,Kim. Jeha
간행물명
ETRI journal
권/호정보
2012년|34권 5호|pp.779-782 (4 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$CuIn_{1-x}Ga_xSe_2$ (CIGS) thin films are grown on Mo/soda lime glass using a reactive sputtering process in which a Se cracker is used to deliver reactive Se molecules. The Cu and $(In_{0.7}Ga_{0.3})_2Se_3$ targets are simultaneously sputtered under the delivery of reactive Se. The effects of Se flux on film composition are investigated. The Cu/(In+Ga) composition ratio increases as the Se flux increases at a plasma power of less than 30 W for the Cu target. The (112) crystal orientation becomes dominant, and crystal grain size is larger with Se flux. The power conversion efficiency of a solar cell fabricated using an 800-nm CIGS film is 8.5%.