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Pressure Control Organic Vapor Deposition Methods for Fabricating Organic Thin-Film Transistors
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  • Pressure Control Organic Vapor Deposition Methods for Fabricating Organic Thin-Film Transistors
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저자명
Ahn. SeongDeok,Kang. Seong Youl,Oh. Ji Young,Suh. Kyung Soo,Cho. Kyoung Ik,Koo. Jae Bon
간행물명
ETRI journal
권/호정보
2012년|34권 6호|pp.970-973 (4 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this letter, we report on the development progress of a pressure control organic vapor deposition (PCOVD) technology used to design and build a large area deposition system. We also investigate the growth characteristics of a pentacene thin film by PCOVD. Using the PCOVD method, the mobility and on/off current ratio of an organic thin-film transistor (OTFT) on a plastic substrate are $0.1cm^2/Vs$ and $10^6$, respectively. The developed OTFT can be applied to a flexible display on a plastic substrate.