- Detecting Digital Micromirror Device Malfunctions in High-throughput Maskless Lithography
- Detecting Digital Micromirror Device Malfunctions in High-throughput Maskless Lithography
- ㆍ 저자명
- Kang. Minwook,Kang. Dong Won,Hahn. Jae W.
- ㆍ 간행물명
- Journal of the Optical Society of Korea
- ㆍ 권/호정보
- 2013년|17권 6호|pp.513-517 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학회
- ㆍ 파일정보
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- ㆍ 주제분야
- 기타
