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대형 광학계 연마 장비에 의한 대구경 반사경의 최적 근사 구면 제조 방법에 관한 연구
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  • 대형 광학계 연마 장비에 의한 대구경 반사경의 최적 근사 구면 제조 방법에 관한 연구
저자명
송창규,김경호,황주호,김병섭,박천홍,이호철,Song. Chang Kyu,Khim. Gyungho,Hwang. Jooho,Kim. Byung Sub,Park. Chun Hong,Lee. Hocheol
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2013년|30권 3호|pp.324-330 (7 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes a novel method to surface large optics mirror with an extremely high hardness, which could replace the high cost of the repetitive off-line measurement steps and the large ultra-precision grinding machine with ultra-positioning control of 10 nm resolution. A lot of diamond pellet to be attached on the convex aluminum base consists of a grinding tool for the concave large mirror, and the tool was pressured down on the large mirror blank. The tool motion at an interval on the spiral path was controlled with each feed rate as the dwell time in the conventional computer-controlled polishing. The shape to be surfaced was measured directly by a touch probe on the machine without any separation of the mirror blank. Total 40 iterative steps of the surfacing and measurement could demonstrate the form error of RMS $7.8{mu}m$, surface roughness of Ra $0.2{mu}m$ for the mirror blank with diameter of 1 m and spherical radius of curvature of 5400 mm.