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RF magnetron sputtering법으로 형성된 IGZO박막의 RF power에 따른 광학적 및 전기적 특성
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  • RF magnetron sputtering법으로 형성된 IGZO박막의 RF power에 따른 광학적 및 전기적 특성
  • The optical and electrical properties of IGZO thin film fabricated by RF magnetron sputtering according to RF power
저자명
장야쥔,김홍배,Zhang. Ya Jun,Kim. Hong Bae
간행물명
반도체디스플레이기술학회지
권/호정보
2013년|12권 1호|pp.41-45 (5 pages)
발행정보
한국반도체디스플레이기술학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

IGZO transparent conductive thin films were widely used as transparent electrode of optoelectronic devices. We have studied the optical and electrical properties of IGZO thin films. The IGZO thin films were deposited on the corning 1737 glass by RF magnetron sputtering method. The RF power in sputtering process was varied as 25, 50, 75and 100 W, respectively. All of the thin films transmittance in the visible range was above 85%. XRD analysis showed that amorphous structure of the thin films without any peak. The thin films were electrically characterized by high mobility above $13.4cm^2/V{cdot}s$, $7.0{ imes}10^{19}cm^{-3}$ high carrier concentration and $6{ imes}10^{-3}{Omega}-cm$ low resistivity. By the studies we found that IGZO transparent thin film can be used as transparent electrodes in electronic devices.