- RF magnetron sputtering법으로 형성된 IGZO박막의 RF power에 따른 광학적 및 전기적 특성
- The optical and electrical properties of IGZO thin film fabricated by RF magnetron sputtering according to RF power
- ㆍ 저자명
- 장야쥔,김홍배,Zhang. Ya Jun,Kim. Hong Bae
- ㆍ 간행물명
- 반도체디스플레이기술학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2013년|12권 1호|pp.41-45 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체디스플레이기술학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
