- Nitrogen Incorporation of Nanostructured Amorphous Carbon Thin Films by Aerosol-Assisted Chemical Vapor Deposition
- Nitrogen Incorporation of Nanostructured Amorphous Carbon Thin Films by Aerosol-Assisted Chemical Vapor Deposition
- ㆍ 저자명
- Fadzilah. A.N.,Dayana. K.,Rusop. M.
- ㆍ 간행물명
- Transactions on electrical and electronic materials
- ㆍ 권/호정보
- 2013년|14권 4호|pp.165-171 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
