- 규제액면기법의 전사방식 광조형 시스템을 위한 이형력 감소
- ㆍ 저자명
- 김혜정,하영명,박인백,김민섭,조광호,이석희,Kim. Hye Jung,Ha. Young Myoung,Park. In Baek,Kim. Min Sub,Jo. Kwang Ho,Lee. Seok Hee
- ㆍ 간행물명
- 한국정밀공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2013년|30권 9호|pp.1001-1006 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
