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장비 구동부품 기인 Particle 평가를 위한 마모측정기의 개발에 관한 연구
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  • 장비 구동부품 기인 Particle 평가를 위한 마모측정기의 개발에 관한 연구
저자명
박광희,노권학,장성호,이종환,차영철,전해등,Park. Kwang Hee,Noh. Kwonhak,Chang. Sung Ho,Lee. Jonghwan,Cha. Young Cheul,Chun. Hae Dong
간행물명
산업경영시스템학회지
권/호정보
2013년|36권 2호|pp.1-7 (7 pages)
발행정보
한국산업경영시스템학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Cleanroom could be largely classified into industrial cleanroom that can be contaminated by particles and bio-cleanroom that can be contaminated by biological particles. Electrical manufacturing companies producing precision machines and electrical parts essentially have industrial cloom facilities and clean technologies to produce defects free products due to particles. Industrial cleanroom should be controlled in respect of 4M1E to prevent from foreign materials of sub-micro unit and to keep out contamination sources from outside. In this paper, a concept for a quantitative methodology to measure the particles from running components was suggested by combining both newly making clean booth such as wear tester and laser particle counter.