최근 반도체, LCD, 첨단전자산업 관련 분야의 급팽창으로 고압 액화가스 사용이 증가함에 따라 극저온 용기 및 저장탱크도 대형화되는 추세이다. 저장탱크 내의 잔존량을 측정하기 위해 기존에는 아날로그식 액면계와 압력계를 이용하고 있으나 이는 측정이 불편하고 정밀도가 부정확하여 정확한 양을 측정하기가 어렵다. 이에 본 연구에서는 차압센서를 이용하여 극저온 액화가스 저장탱크의 압력과 액면 높이를 측정하고 유선통신기능으로 PC 모니터링이 가능하도록 하며, 모바일 프린터를 연결하여 특정데이터가 출력 가능하도록 디지털식 액면측정장치를 설계한다.
The sizes of cryogenic vessels and storage tanks are becoming bigger due to strong demands from semiconductor and LCD industry as well as high-tech electronic industry. Conventional level and pressure gauges used for cryogenic vessels were analog types which made exact measurement difficult for the remained quantity at lower levels due to their poor accuracy. In this study, a design for a digital type gas level gauge which can measure the pressure and level inside of the cryogenic liquefied gas storage tanks has been proposed by using a differential pressure sensor, in which the measured data are monitored by a host PC and are transferred to a mobile printer for data confirmation at local station.
