본 논문에서는 평판형 광도파로 상에 마하젠더 간섭계를 형성한 습도센서의 특성을 제시하고자 한다. 평판형 광도파로의 마하젠더 간섭계의 한쪽 팔에 PVP를 코팅함으로써 센서 주변의 외부 습도를 측정하였다. 습도를 계측할 간섭계의 한쪽 팔은 10 mm 폭으로 에칭하고, 에칭된 곳에 폴리비닐피롤리돈 (PVP)를 코팅하였다. PVP는 습도변화에 의해서 굴절률의 변화가 일어나므로, PVP로 코팅된 습도 센서는 평판형 광도파로 근처 상대습도의 차이에 따라 광간섭무늬의 변화를 나타내었다. 이에 대한 측정 결과를 통해 30%~80% 상대습도 범위에서 습도센서로써 작동함을 확인할 수 있었다.
In this paper, the characteristics of a humidity sensor implemented by Mach Zehnder Interferometer (MZI) in a Planar Lightwave Circuit (PLC) have been designed and demonstrated. The humidity outside is detected with polyvinylpyrrolidone (PVP) coated on the etched arm of the MZI. The length of the etched arm is 10 mm and the PVP was coated by dip-coating into the etched region. As the refractive index of the PVP changes with the surrounding humidity, the PVP-coated humidity sensor presented changes in the interferogram depending on RH (Relative Humidity) around the PLC. The measured results show that the proposed humidity sensor works successfully in the range of 30% to 80% of RH.
