기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
스핀 코팅에서의 액막의 흐름
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 스핀 코팅에서의 액막의 흐름
  • The Flow of a Liquid Film on Spin Coating
저자명
김태성,Kim. Tae-sung
간행물명
한국액체미립화학회지
권/호정보
2013년|18권 3호|pp.146-154 (9 pages)
발행정보
한국액체미립화학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

The flow of a liquid film on spin coating is investigated in the case that the fixed volume of a liquid is placed on the center of a stationary disk. Thin film equations that are well approximated when the characteristic length in the vertical direction is much smaller than that in the radial direction (${varepsilon}{ll}1$) and have already been proposed in the work of T.-S. Kim & M.-U. Kim (2009), are used. The differential equation that governs the free surface of a liquid when ${varepsilon}{ll}1$ and ${varepsilon}Re{ll}1$ is also derived. The basic flow is analyzed using the thin film equations and their results are compared to the results of Navier-Stokes equations.