- Mechanical and Chemical Characterization of NbNx Coatings Deposited by ICP Assisted DC Magnetron Sputtering
- Mechanical and Chemical Characterization of NbNx Coatings Deposited by ICP Assisted DC Magnetron Sputtering
- ㆍ 저자명
- Jun. Shinhee,Kim. Junho,Kim. Sunkwang,You. Yong Zoo,Cha. Byungchul
- ㆍ 간행물명
- 열처리공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2014년|27권 1호|pp.10-14 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국열처리공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
