- 압저항형 온·습도 복합 센서 제작 및 특성 분석
- ㆍ 저자명
- 류정탁,Ryu. Jeong-Tak
- ㆍ 간행물명
- 한국산업정보학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2014년|19권 2호|pp.31-36 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국산업정보학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본 논문에서는 나노기술을 적용한 압저항형 온 습도복합센서를 개발하여 특성을 평가 분석 하였다. 온도 변화에 대한 출력 감도는 $20{sim}80^{circ}C$에 이르는 측정구간에서 약 0.75mV/$1^{circ}C$의 출력 값을 보였다. 습도 변화에 대한 감도는 약 1.35mV/10%(RH)의 결과를 나타내었다. 이와 같은 결과에 의하여 본 논문에서 개발한 센서는 일반적인 생활 주거 환경에 적용이 가능함을 시사해 준다.
In this paper, we developed an intergrated piezoresistive temperature and humidity sensor using nano-technology, and evaluated the properties. In the measuring range from $20^{circ}C$ to $80^{circ}C$, output sensitivity of temperature was about 0.75mV/$1^{circ}C$. Output sensitivity of humidity was about 1.35mV/10%(RH). Therefore, developed sensor suggests that it is possible applicable to the general residential environment.