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MOD법으로 제조된 Copper Manganite 박막의 구조 및 NTCR 특성
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  • MOD법으로 제조된 Copper Manganite 박막의 구조 및 NTCR 특성
저자명
이귀웅,전창준,정영훈,윤지선,남중희,조정호,백종후,윤종원,Lee. Kui Woong,Jeon. Chang Jun,Jeong. Young Hun,Yun. Ji Sun,Nam. Joong Hee,Cho. Jeong Ho,Paik. J
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2014년|27권 7호|pp.452-457 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Copper manganite thin films were fabricated on $SiN_x/Si$ substrate by metal organic decomposition (MOD) process. They were burned-out at $400^{circ}C$ and annealed at various temperatures ($400{sim}800^{circ}C$) for 1h in ambient atmosphere. Their micro-structure and negative temperature coefficient of resistance (NTCR) characteristics were analyzed for micro-bolometer application. The copper manganite film with a cubic spinel structure was well developed at $500^{circ}C$ which confirmed by XRD and HRTEM analysis. It showed a low resistivity ($47.5{Omega}{cdot}cm$) at room temperature and high NTCR characteristics of $-4.12%/^{circ}C$ and $-2.15%/^{circ}C$ at room temperature and $85^{circ}C$, implying a good thin film for micro-bolometer application. Furthermore, its crystallinity was enhanced with increasing temperature to $600^{circ}C$. However, the appearance of secondary phase at temperatures higher than $600^{circ}C$ lead to deteriorate the NTCR characteristics.