- Analysis of the Capacitive Pressure Sensor with Ring Mesa Structure
- Analysis of the Capacitive Pressure Sensor with Ring Mesa Structure
- ㆍ 저자명
- Kwon. Soon-Kwan,Cho. Hee-Chan,Yi. Seung-Hwan
- ㆍ 간행물명
- International journal of precision engineering and manufacturing
- ㆍ 권/호정보
- 2014년|15권 6호|pp.1023-1028 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
