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압력과 온도측정 기능을 갖는 고성능 플렉시블 촉각센서
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  • 압력과 온도측정 기능을 갖는 고성능 플렉시블 촉각센서
저자명
장진석,강태형,송한욱,박연규,김민석,Jang. Jin-Seok,Kang. Tae-Hyung,Song. Han-Wook,Park. Yon-Kyu,Kim. Min-Seok
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2014년|31권 8호|pp.683-688 (6 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents a high-performance flexible tactile sensor based on inorganic silicon flexible electronics. We created 100 nm-thick semiconducting silicon ribbons equally distributed with 1 mm spacing and $8{ imes}8$ arrays to sense the pressure distribution with high-sensitivity and repeatability. The organic silicon rubber substrate was used as a spring material to achieve both of mechanical flexibility and robustness. A thin copper layer was deposited and patterned on top of the pressure sensing layer to create a flexible temperature sensing layer. The fabricated tactile sensor was tested through a series of experiments. The results showed that the tactile sensor is capable of measuring pressure and temperature simultaneously and independently with high precision.