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P-pillar 식각 각도에 따른 Super Junction MOSFET의 전기적 특성 분석에 관한 연구
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  • P-pillar 식각 각도에 따른 Super Junction MOSFET의 전기적 특성 분석에 관한 연구
저자명
강이구,Kang. Ey Goo
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2014년|27권 8호|pp.497-500 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, we analyze electrical characteristics of n/p-pillar layer according to trench angle which is the most important characteristics of SJ MOSFET and core process. Because research target is 600 V class SJ MOSFET, so conclusively trench angle deduced 89.5 degree to implement the breakdown voltage 750 V with 30% margin rate. we found that on resistance is $22mohm{cdot}cm^2$ and threshold voltage is 3.5 V. Moreover, depletion layer of electric field distribution also uniformly distributes.