- P-pillar 식각 각도에 따른 Super Junction MOSFET의 전기적 특성 분석에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 강이구,Kang. Ey Goo
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2014년|27권 8호|pp.497-500 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
In this paper, we analyze electrical characteristics of n/p-pillar layer according to trench angle which is the most important characteristics of SJ MOSFET and core process. Because research target is 600 V class SJ MOSFET, so conclusively trench angle deduced 89.5 degree to implement the breakdown voltage 750 V with 30% margin rate. we found that on resistance is $22mohm{cdot}cm^2$ and threshold voltage is 3.5 V. Moreover, depletion layer of electric field distribution also uniformly distributes.