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Ag 완충박막 두께에 따른 IGZO/Ag 적층박막의 특성 변화
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  • Ag 완충박막 두께에 따른 IGZO/Ag 적층박막의 특성 변화
저자명
김소영,김선경,김승홍,전재현,공태경,최동혁,손동일,김대일,Kim. So-Young,Kim. Sun-Kyung,Kim. Seung-Hong,Jeon. Jae-Hyun,Gong. Tae-Kyung,Choi. Dong-Hyuk,Son.
간행물명
열처리공학회지
권/호정보
2014년|27권 5호|pp.230-234 (5 pages)
발행정보
한국열처리공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

IGZO/Ag bi-layered films were deposited on glass substrate at room temperature with radio frequency and direct current magnetron sputtering, respectively to consider the effect of Ag buffer layer on the electrical, optical and structural properties. For all deposition, while the thickness of Ag buffer layer was varied as 10, 15, and 20 nm, The thickness of IGZO films were kept at 100 nm, In a comparison of figure of merit, IGZO films with 15 nm thick Ag buffer layer show the higher figure of merit ($1.1{ imes}10^{-2}{Omega}^{-1}$) than that of the IGZO single layer films ($3.7{ imes}10^{-4}{Omega}^{-1}$). From the observed results, it is supposed that the IGZO 100 nm/Ag 15 nm bi-layered films may be an alternative candidate for transparent electrode in a transparent thin film transistor device.