- 전극재료에 따른 BST 유전체의 Capacitor 특성 변화에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 최영철
- ㆍ 간행물명
- 마이크로전자 및 패키징 학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|5권 1호|pp.55-62 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국마이크로전자및패키징학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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다양한 하부전극 위해 RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 (Ba, Sr)TiO3 (BST) 박막을 증착한 후 구조적 전기적 특성을 조사하였다. 하부전극 재료에 따라 BST 박막의 구 조적 특성 및 커패시터의 전기적 특성이 변화함을 확인하였다. Pt 전극 위에 증착된 BST 박막으 결정성이 Pt/RuO2 또는 RuO2 전극 위에 제조된 박막의 그것보다 우수하였다. Pt 박 막위에 증착된 BST박막이 RuO2 위에 성장된 박막보다 평탄하고 균일한 표면구조를 가지고 있었다. BST/Pt와 BST/RuO2 계면에형성된 전위장벽의 높이는 각각 0.92eV와 0.61eV이었