- Semi Process gas treatment using Thermal Plasma
- ㆍ 저자명
- Choi Yun Soo
- ㆍ 간행물명
- 한국환경에너지공학회 학술대회지
- ㆍ 권/호정보
- 2015년|pp.38-46 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국환경에너지공학회|한국
- ㆍ 파일정보
- 학술대회지|ENG| 이미지(0.86MB)
- ㆍ 주제분야
- 공학
1. Semi Process gases• PFCs 2. Type of Thermal Plasma generation 3. Development and Commercialize 4. Thermal Plasma Scrubber 5. Apparatus composition 6. Valuation(SMIC/SUNTECH/INOTERA) 7. Numerical calculation(Torch/Chamber) 8. Thermodynamic consideration