최근 우주항공 등의 기술이 급속히 발달함에 따라 에너지문제와 환경문제가 크게 대두 하고 있어 기존부터 사용되어 오던 항공구조재료 및 엔진재료를 대체할 수 있는 우수 한 경량고온재료의 개발이 요구되고 있다. 이에 그 대체 재료로서 2원계 Ti-Al합금계 의 화합물이 주목을 받고 있다. 또한 각종 공구용 재료나 각종 기계 및 자동차부품 재 료의 내마모성이나 내부식성 등을 향상시키기 위해 표면에 화합물 피막을 형성시켜 기 존습식 도금재의 대체와 더불어 환경오염의 최소화를 위하여 우수한 기계적, 열적, 화 학적 성질을 가진 새로운 경질 코팅재료의 개발이 활발하게 진행되고 있다. 본 연구는 고온구조재료로서의 특성을 가지고 있는 2원계 Ti-Al 금속화합물의 합금화타깃과 실온 및 기판가열에 의해 증착한 Ti-Al의 박막형성과 열처리에 의한 화합물의 특성을 조사 하고자 한다.