1992년 이지마에 의해 탄소나노튜브가 발견된 이후 탄소나노튜브를 합성하기 위한 다양한 공정이 제안되고 연구되어 왔다. 근래 들어 탄소나노튜브의 대립 합성공정으로 촉매기상합성범이 제안되어 탄소나노튜브 합성연구가 진행 중이다. 촉매기상합성범은 아크방전법이나 레이저조사법 등에 비해 촉매 및 합성가스의 종류, 합성온도,합성시간, 가스와 유량, 장입량 및 장입방법 등에 따라 탄소나노튜브의 종류,직경을 변화시킬 수 있는 등 다양한 특징을 가진 탄소나로튜브를 합성할 수 있는 장점이 있다.