Hughes 등은 철 도가니 안에서 수소와 메탄의 혼합물로부터 모발형상의 기상성장 탄소섬유가 생성한 것을 발견하였고, 섬유는 화학기상증착법에 의해 형성된 직경이 약 20m의 탄소 필라멘트형태임을 보고하였다. 이후에 Davis 등이 전자 현미경을 사용하여 나노 크기의 직경을 가진 탄소 필라멘드를 처음으로 관찰하였고, 현재까지 많은 연구자들이 Ni,Fe,Co 및 이러한 금속들의 합금을 촉매로 이용하여 탄소나노섬유를 성장 시키는 기술을 확립하였다.