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Semi Process gas treatment using Thermal Plasma
Choi Yun Soo 한국열환경공학회 한국열환경공학회 학술대회지 9 Pages
한국열환경공학회 한국열환경공학회 학술대회지 2015년 추계 6 38-46 (9 pages)
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Study on the Effects of Ultrasonic Wave for the Effective Hydrogen Generation by Electrical Discharge Plasma Process
Park. Jae-Youn, Cong. Nghi-Vu, Han. Sang-Bo, Kim. Jong-Seok, Park. Sang-Hyun, Lee. Hyun-Woo, Lee. Su-Jung 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 8 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2006, Vol.19 No.6 591-598 (8 pages)
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The Fabrication of an Applicative Device for Trench Width and Depth Using Inductively Coupled Plasma and the Bulk Silicon Etching Process
Woo. Jong-Chang, Choi. Chang-Auck, Kim. Chang-Il 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 6 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2014, Vol.15 No.1 49-54 (6 pages)
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Optical In-Situ Plasma Process Monitoring Technique for Detection of Abnormal Plasma Discharge
Hong. Sang Jeen, Ahn. Jong Hwan, Park. Won Taek, May. Gary S. 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 7 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2013, Vol.14 No.2 71-77 (7 pages)
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Atmospheric Plasma Treatment on Copper for Organic Cleaning in Copper Electroplating Process: Towards Microelectronic Packaging Industry
Hong. Sei-Hwan, Choi. Woo-Young, Park. Jae-Hyun, Hong. Sang-Jeen 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 4 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2009, Vol.10 No.3 71-74 (4 pages)