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- 대한기계학회론문집. TRANSACTIONS OF THE KOREAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS. B. B(3)
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미세가공 정전용량형 초음파 탐촉자 개발(II) - 미세공정기술 분석
김기복, 안봉영, 박해원, 김영주, 김국진, 이승석, Kim. Ki-Bok, Ahn. Bong-Young, Park. Hae-Won, Kim. Young-Joo, Kim. Kuk-Jin, Lee. Seung-Seok 한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 8 Pages
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 2004, Vol.24 No.6 573-580 (8 pages)
본 연구는 cMUT 제작을 위한 미세공정기술을 개발하기 위하여 수행되었다. 이를 위하여 외국의 관련 제조공정 연구결과들을 분석하였다. cMUT 제작의 주요 공정인 미소 진동 박막 형성, 희생층 형성, 식각 공정에 대한 실험을 수행하여 적절한 공정조건을 찾고자 하였다. 각 제작 공정조건들을 변화시켜 가면서 증착된 실리콘 질화막의 두께, 균일도, 잔류응력을 측정하였다. 희생층으로서 실리콘 산화막의 공정조건을 변화시켜 가면서 산화막의 성장률을 분석하였다. 마지막으로 희생층 식각을 위한 최적 식각공정을 얻기 위한 실험을... -
레이저 국소증착에 의한 탄소 미세 구조물 제조 및 분광분석
한성일, 김진범, 정성호 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 6 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2002, Vol.5 No.2 17-22 (6 pages)
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Fabrication of Nano-precision PDMS Replica Using Two-photon Photopolymerization and Vacuum Pressure Difference Technique
Park. Sang-Hu, Lim. Tae-Woo, Yang. Dong-Yol, Kong. Hong-Jin, Kim. Ran-Hee, Kim. Kyoung-Soo, Lee. Kwang-Sup 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2004, Vol.25 No.8 1119-1120 (2 pages)


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