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$Ar^+$ RF 플라즈마 처리조건이 임베디드 PCB내 전극 Cu박막과 ALD $Al_2O_3$ 박막 사이의 계면파괴에너지에 미치는 영향
박성철, 이장희, 이정원, 이인형, 이승은, 송병익, 정율교, 박영배, Park. Sung-Cheol, Lee. Jang-Hee, Lee. Jung-Won, Lee. In-Hyung, Lee. Seung-Eun, Song. Byoung-Ikg, Chung 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 8 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2007, Vol.14 No.1 61-68 (8 pages)
측정하여 순수 빔 굽힘을 가정한 에너지 평형 해석을 통하여 계면파괴에너지를 구하였다. $Cu/Al_2O_3$의 계면파괴에너지(${Gamma}$)는 매우 약하여 측정할 수 없었으나, 접착력 향상층 Cr 박막을 삽입하여 $Cr/Al_2O_3$의 계면파괴에너지는 $10.8{pm}5.5g/mm$를 얻었다. $Al_2O_3$ 표면에 $0.123W/cm^2$ 의 power density로 2분간 $Ar^+$ RF 플라즈마 전처리를 하고 Cr박막을 삽입한 $Cr/Al_2O_3$ 계면파괴에너지는 $39.8{pm}3.2g/mm$으로 매우 크게 증가하였는데, 이는 $Ar^+$ RF 플라즈마 전처리에 따른 mechanical interlocking효과와... -
레이저 용접시 분광학적 수법에 의한 증발입자의 거동과 플라즈마 물성의 계측
김윤해 한국마린엔지니어링학회 韓國舶用機關學會誌 9 Pages
한국마린엔지니어링학회 韓國舶用機關學會誌 1999, Vol.23 No.4 514-522 (9 pages)
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대기압 플라즈마를 이용한 고분자 소재의 표면개질
심동현, 설수덕, Sim. Dong-Hyun, Seul. Soo-Duk 한국고분자학회 폴리머 7 Pages
한국고분자학회 폴리머 2008, Vol.32 No.5 433-439 (7 pages)
고분자 소재에 평판형 플라즈마 전처리 방식을 적용시켜 polyurethane foam(density : 0.27)과 rubber (butadiene rubber) 소재 표면의 접촉각 및 접착력을 향상시켰다. 플라즈마 반응기의 최적의 반응조건을 조사하기 위해서 전처리기류(질소, 아르곤, 산소, 공기), 기류의 유량($30{sim}100;mL/min$), 그리고 전처리 시간($0{sim}30;s$) 등을 변화시켜 전처리하고 polyurethane foam의 경우 진공식 플라즈마처리 방식과 상호 비교하였다. 분위기 기류인 $N_2$의 유량을 100 mL/min로 설정 후 polyurethane foam은 10 s, rubber는 3 s... -
결정질 실리콘 태양전지 응용을 위한 SiNx 및 SiO2 박막의 패시베이션 특성 연구
정명일, 최철종, Jeong. Myung-Il, Choi. Chel-Jong 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 5 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2014, Vol.24 No.1 41-45 (5 pages)
다양한 공정 조건으로 $SiN_x$와 $SiO_2$ 박막을 형성하고 이에 대한 패시베이션 특성에 대한 연구를 수행하였다. Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD)을 이용하여 증착된 $SiN_x$ 박막의 경우, 증착 두께가 증가함에 따라 페시베이션 특성이 향상되는 것을 관찰하였다. 이는 PECVD 증착 공정 중 유입되는 수소 원자들이 실리콘 표면에 존재하는 Dangling bond와 결합하여 소수 캐리어의 재결합 현상을 효과적으로 감소시켰기 때문이다. 건식 산화법으로 형성된 $SiO_2$ 박막은 습식 산화법으로 형성된 것 보다 치밀한 계면... -
나노결정질 다이아몬드 seeding 효율 향상을 위한 silicon 표면 texturing
박종천, 정옥근, 김상윤, 박세진, 윤영훈, 조현, Park. Jong Cheon, Jeong. Ok Geun, Kim. Sang Youn, Park. Se Jin, Yun. Young-Hoon, Cho. Hyun 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 7 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2013, Vol.23 No.2 86-92 (7 pages)
나노결정질 다이아몬드 박막 증착을 위한 전처리 공정으로 $SF_6/O_2$ 유도결합 플라즈마를 이용하여 Si 기판 표면을 texturing하였다. $SF_6/O_2$ 플라즈마 texturing은 2~16 범위의 매우 넓은 정규화된 표면 조도 선택성을 제공할 수 있음을 확인하였다. Texturing된 Si 기판 표면의 나노 다이아몬드 입자 seeding 이후 기존 기계적 연마 전처리에 비해 현저히 향상된 ${sim}6.5{ imes}10^{10}cm^{-2}$의 높은 핵형성 밀도를 확보하였다. -
스파크 플라스마 소결공정의 전산모사(2부 : 해석)
금영탁, 정상철, 전종훈, Keum. Y.T., Jung. S.C., Jean. J.H. 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 6 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2006, Vol.16 No.1 43-48 (6 pages)
본 2부의 연구에서는 스파크 플라스마 소결의 온도분포, 상대밀도, 입자성장을 해석 하기 위하여 1부 연구의 시뮬레이션 이론을 바탕으로 스파크 플라스마 소결공정을 유한요소법(FEM)과 몬테카를로법(MCM)으로 전산모사하고 실험치와 비교한다. 전산모사를 통하여 소결체의 소결온도가 높을수록 입자성장이 커지고 밀도가 높아져 기계적 성질이 향상되고, 고상 소결에서 몬테카르로 단계가 증가할 수록 기공의 감소와 입자크기의 증대함을 보여 준다. -
스파크 플라즈마 소결공정의 전산모사(1부 : 수식화)
금영탁, 전종훈, Keum. Y.T., Jean. J.H. 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 5 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2006, Vol.16 No.1 38-42 (5 pages)
본 1부 연구에서는 스파크 플라스마 열에 의한 그린 세라믹의 소결에서 열전달 및 가압력으로 인한 상대밀도의 변화를 유한요소법(FEM)으로 해석하고 그 결과에 따른 입자성장을 몬테카를로법(MCM)을 이용하여 전산모사하는 방법을 제시하기 위하여 SPS의 FEH 해석과 MCM 해석의 이론적 배경을 기술한다. -
광대역 고온용 SAW filter 소자용 $La_3Ga_5SiO_{14}$ 단결정의 고밀도 플라즈마 식각
조현, Cho. Hyun 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 5 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2005, Vol.15 No.6 234-238 (5 pages)
[ $Cl_2/Ar$ ] 유도결합 플라즈마(ICP)내의 플라즈마 조성, 이온 flux 및 이온 에너지가 $La_3Ga_5SiO_{14}$ 단결정 wafer의 식각속도, 표면 양상 및 화학량론적 조성에 미치는 영향을 조사하였다. 비교적 높은 ICP source power$({sim}1000W)$ 또는 높은 $Cl_2$ gas 유량 비율 조건으로부터 최고 약 $1600{AA}/min$의 실용적이고 조절이 용이한 식각속도를 확보하였다. 식각된 $La_3Ga_5SiO_{14}$ 표면은 식각 이전과 비슷하거나 더 낮은 표면 조도 특성을 나타내었으며 식각 공정 전, 후 표면의 화학량론적 조성에 있어서의 변화는 없는... -
Saccharomyces cerevisiae의 세포막 분리 및 Vanadate에 의하여 저해되는 ATP 가수분해 효소의 확인
이창원, 윤성철, 김강화, Lee. Chang-Won, Yoon. Sung-Chul, Kim. Kang-Wha 생화학분자생물학회 한국생화학회지 8 Pages
생화학분자생물학회 한국생화학회지 1989, Vol.22 No.2 140-147 (8 pages)
S. cereνisiae KCTC 1205 균주의 세포막 ATPase의 특성을 연구할 목적으로 세포막을 분리하였다. 분리과정은 세포파쇄 후 일련의 원심분리과정 (differential, sucrose density gradient)을 통하여 이루어졌으며 다량의 세포막 분리를 위한 discontinuous sucrose density gradient 원심분리조건을 구하였다. 분리된 세포막의 ATPase는 최적 pH가 5.5였으며 ATP의 농도 0.05-5mM의 범위에서 $1.3{pm}0.4mM$의 $K_m$ 값을 나타냈다. 이 효소역가는 vanadate에 의하여 강하게 저해되었으나 oligomycin과 azide에는 비교적 무관하였다. 50%...