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금속이온 주입기에서의 Co 이온의 인출 특성 연구
이화련, 홍인석, 티투안, 조용섭, Lee. Hwa-Ryun, Hong. In-Seok, Trinh. Tu Anh, Cho. Yong-Sub 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.3 236-243 (8 pages)
이온 주입의 타당성 확인을 위한 특성시험을 수행하고 있다. 이온원에 알루미나 도가니를 설치하여 분말 코발트 염화물을 고온($648^{circ}C$) 가열에 의한 증기화로 인하여 플라즈마 방전이 되도록 하였다. 아크전압 120V, EHC 출력 250W에서 코발트 이온을 인출하기 위한 플라즈마를 발생하고 유지할 수 있었다. 코발트 이온 빔 전류는 플라즈마 내 아크전류에 의존하였으며 0.18A일 때 최대 빔전류 $100{mu}A$를 얻을 수 있었다. 질량분리전자석에 의해서 $Co^+$와 $CoCl^+$, $Cl^+$ 이온의 첨두 빔 전류 비율을 확인하였고 전체 이온... -
급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화
이창우, 고민경, 우상록, 고석중, 이정용, 최광렬, 최영석, Lee. Chang-U, Go. Min-Gyeong, U. Sang-Rok, Go. Seok-Jung, Lee. Jeong-Yong, Choe. Gwang-Ryeol, Choe. Yeong- 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.10 908-913 (6 pages)
플라즈마 화학 증착 방법에 의해 corning 7059 유리기판위에 비정질 실리콘 박막을 만들고 고온열처리, 다단계급속열처리, 일차원 선형빔(line shape beam)의 가우스 분포를 가지는 엑시머 레이저 열처리를 이용하여 고상 및 액상의 재결정화를 통해 다결정 실리콘 박막을 제작하였다. 편광된 라만 분광학(Raman spectroscopy)을 통하여 여러 가지 열처리 방법과 기판온도에 따른 다결정 실리콘 박막의 잔류응력을 조사하였다. 레이저 열처리에 의하여 결정화된 실리콘 기판의 경우, 높은 결정화된 체적량과 잔류응력을 갖으며... -
PECVD방법으로 형성한 $W_{67}N_{33}$/GaAs구조의 열적 특성
이세정, 홍종성, 이창우, 이종무, 김용태, 민석기, Lee. Se-Jeong, Hong. Jong-Seong, Lee. Chang-U, Lee. Jong-Mu, Kim. Yong-Tae, Min. Seok-Gi 한국재료학회 한국재료학회지 8 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1993, Vol.3 No.5 443-450 (8 pages)
실리콘이 주입된 CaAs 기판위에 플라즈마 화학 증착법으로 자기정렬 gate구조의 Schottky contact을 형성하였다. 갈륨비소 소자 제조를 위하여 두께 1600$AA$의 턴스텐질화막을 $350^{circ}C$에서 증착하여 $750^{circ}C$에서 $900^{circ}C$까지 급속 열처리 하였다. 텅스텐 질화막과 GaAs계면의 열적 안정성을 XRD(X-ray diffraction), PL(photoluminescence),ODLTS(optical deep livel transient spectroscopy)측정으로 조사하였으며, W보다 $W_{67}N_{33}$ gate를 형성시킬 경우에 GaAs에 미치는 열적손상이 적음을 알 수 있으며 이온... -
Bond Coat의 산화가 Thermal Barrier Coating의 파괴에 미치는 영향
최동구, 최함메, 강병성, 최원경, 최시경, 김재철, 박영규, 김길무 한국세라믹학회 요업학회지 7 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1997, Vol.34 No.1 88-94 (7 pages)
플라즈마 용사법(plasma spray method)으로 제작된 상용 가스 터빈 연소기의 finned segment의 열차폐용 코팅계, ZrO2-8wt%Y2O3 top coat/Ni-26Cr-5Al-0.5Y bond coat/Hastelloy X superalloy 기판에서 NiCrAlY bond coat의 산화 거동과 열피로 파괴에 대하여 조사하였다. 생성된 bond coat의 주산화물은 NiO, CrO2, Al2O3였다. ZrO2/bond coat계면에서 생성된 산화물의 분포는 고온에서의 사용 전에 이 계면 아래에 얇은 층의 Al2O3가없는 곳에서는 NiO 산화층 및에 Cr2O3와 Al2O3가 혼합된 형태를 나타내었다. 열피로에 의해 박리된... -
전해환원공정에서 $Y_2O_2$ 코팅층의 부식거동
조수행, 홍순석, 강대승, 정명수, 박병흥, 허진목, 이한수, Cho. Soo-Haeng, Hong. Sun-Seok, Kang. Dae-Seung, Jeong. Myeong-Soo, Park. Byung-Heong, Hur. Jin-Mok, Lee. 한국방사성폐기물학회 방사성폐기물학회지 7 Pages
한국방사성폐기물학회 방사성폐기물학회지 2010, Vol.8 No.1 33-39 (7 pages)
구조재료를 상당히 부식시킬 수 있는, 화학적으로 심각한 반응환경을 조성한다. 따라서, 고온 용융염을 다루는 전해환원 공정장치를 위해서는 최적의 재료를 선택하는 것이 필수적이다. 본 연구에 서는 리튬용융염, $675^{circ}C$, 216시간동안 산화분위기에서 코팅이 안 된 초합금과 코팅된 초합금 시편의 고온 부식연구를 수행하였다. IN713LC 초합금 시편에 aluminized NiCrAlY bond 코팅 후 $Y_2O_3$ top 코팅을 하였다. 코팅이 안 된 초합금은 부식층의 빠른 성장응력과 열적응력에 의한 부식층의 박리로 명확한 무게손실을 보인다.... -
원주 귀래2리 가마터 출토 백자의 화학조성과 소성온도 연구
이병훈, 소명기, Lee. Byeong Hoon, So. Myoung-Gi 한국문화재보존과학회 보존과학회지 13 Pages
한국문화재보존과학회 보존과학회지 2014, Vol.30 No.3 249-261 (13 pages)
연관성을 도출하고자 하였다. X-선 형광분석기(XRF)와 X-선 회절분석(XRD), 열팽창계수 측정(Dilatometer), 유도결합 플라즈마 질량 분석법(ICP-MS) 및 유도결합 플라스마 방출 분광법(ICP-AES)을 이용하여 대상 시편에 대해서 각각 화학 조성과 결정상, 소성온도, 미량원소 및 희토류원소 등을 분석하였다. 귀래2리 가마터 출토 백자는 착색 산화물과 융제의 함유량이 높은 특징을 나타낸다. 소성온도는 시편마다 차이가 있지만 대부분 $1200^{circ}C$ 이하에서 소성 되었으며 일부 시편은 $1000^{circ}C{pm}20^{circ}C$에서 저온 소성되... -
통가열도 TA 25 해저산의 열수변질
조현구, 김동호, 구효진, 엄인권, 최헌수, Cho. Hyen Goo, Kim. Dong-Ho, Koo. Hyo Jin, Um. In Kwon, Choi. Hunsoo 한국광물학회 韓國鑛物學會誌 13 Pages
한국광물학회 韓國鑛物學會誌 2014, Vol.27 No.4 169-181 (13 pages)
규명하기 위하여 X선회절분석, 주사전자현미경 관찰, X선형광분석과 유도결합 플라즈마 방출분광분석을 실시하였다. 연구에 사용된 시료는 TA 25 해저산 주변에서 채취된 7개의 코어 시료와 9개의 해저퇴적물 시료이다. 열수분출구 모든 지역에서 중정석, 섬아연석, 클리노클레이스 등이 존재하고, 열수분출구 A 지역에는 석고, 스멕타이트 및 카올린 광물, 열수분출구 B와 C 지역에는 스멕타이트, 카올린 광물, 황동석과 황철석, 열수분출구 D 지역에는 석고, 황동석, 황철석, 침철석 등이 분포한다. 점토부분에 대한 분석 결과 칼데라... -
Weight Loss and Morphology of Nitrile Curable PFE and Peroxide Curable PFE after Exposing to $NF_3$ and $O_2$ Remote Plasmas
이경원, 김태호, Lee. Kyung-Won, Kim. Tae-Ho 한국고분자학회 폴리머 5 Pages
한국고분자학회 폴리머 2011, Vol.35 No.2 136-140 (5 pages)
내플라즈마 특성을 평가하기 위해 고온상태에서 $NF_3$, $O_2$ 리모트 플라즈마에 노출된 과불소 고무 재질의 오링(O-ring)에 대해 각각의 무게 손실 및 표면 특성을 확인하였다. 이를 위해 컴파운드는 반도체 및 LCD 생산라인에서 적용되고 있는 오링/씰 제조를 위한 전형적인 처방에 맞춰 설계하고 오픈 롤을 사용하여 혼련작업을 실시하였으며, 이후 열프레스로 작업한 후 오븐을 이용한 후가교 공정을 거쳐 최종 오링 형태로 제조하였다. 가교된 과불소고무 오링을 고온 플라즈마 환경에 노출시킨 후 무게 감량 및 표면 특성 변화를... -
산화갈륨 희생층을 이용한 AlGaN/GaN-on-Si HFET의 특성 개선 연구
이재길, 차호영, Lee. Jae-Gil, Cha. Ho-Young 대한전자공학회 Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers 5 Pages
대한전자공학회 Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers 2014, Vol.51 No.2 33-37 (5 pages)
전극 형성시 고온 열처리 과정으로 인해 갈륨의 표면 손상이 불가피하다. 표면 손상을 방지하기 위해 보편적으로 선표면처리 공정을 사용하기도 하지만 이러한 방법만으로는 표면 손상을 완전히 없애기 어렵다. 본 연구에서 새롭게 제안된 산화갈륨 희생층을 이용한 공정 방법은 고온 열처리 후 손상된 표면에 $O_2$ 플라즈마 처리를 통해 산화갈륨층을 형성한 뒤, 염화수소를 이용하여 산화갈륨층을 식각한다. 우수한 상태의 표면 상태를 얻을 수 있었으며, 누설전류의 확연한 감소로 subthreshold slope이 개선되었을 뿐만 아니라 최대... -
토카막 핵융합장치용 초전도 자석
류경우, 류강식, 오봉환, 오상수 대한전기학회 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 6 Pages
대한전기학회 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 1996, Vol.45 No.7 12-17 (6 pages)
초 고온 (1억도 이상)의 플라즈마 상태로 그 밀도와 밀폐(반응)시간의 곱이 $10^{20}$sec/m$^{3}$ 이상에 도달하도록 핵융합 반응 공간내에 밀폐시켜야 한다[1]. 현재까지의 밀폐방식으로는 강력한 전자석의 전자력을 이용하는 자계 밀폐방식 (Magnetic Confinement)과 레이져등을 이용하는 관성 밀폐 방식(Inertial Confinement)이 있다. 강력한 자장 발생이 용이한 특징을 지닌 초전도자석이 요구되는 자계 밀폐방식에도 여러가지 방식이 있으나, 크게 분류해 보면 원환체 (Torus)상의 자장을 발생시키는 토러스 밀폐방식과 직선상의...