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유기박막 트랜지스터를 위한 프린팅과 자기정렬공정의 결합기술
김강대, 조정대, 이택민, 김충환, 신동윤, 김동수, 최병오, Kim. Kang-Dae, Jo. Jeong-Dai, Lee. Taik-Min, Kim. Chung-Hwan, Shin. Dong-Youn, Kim. Dong-Soo, Choi. Byung- 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 4 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2008, Vol.25 No.8 17-20 (4 pages)
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자기정렬공정에 의한 GaAs/AlGaAs 광위상변조기의 제작 및 특성 측정
김병성, 정영철, 변영태, 박경현, 김선호, 임동건 한국광학회 한국광학회지 8 Pages
한국광학회 한국광학회지 1996, Vol.7 No.3 287-294 (8 pages)
MOCVD(metal-organic chemical vapour deposition)방법으로 성장시킨 이중 이종접합구조 GaAs/AlGaAs 웨이퍼를 이용하여 광위상변조기를 제작하였다. 제작과정에서 도파로와 절연층의 형성시 동일 포토레지스트 패턴을 이용하는 자기종렬공정을 개발하여 그 효용성을 입증하였다. Fabry-Perot 간섭법을 이용하여 변조기의 위상변조효율을 측정하였으며 1.31.mu.m파장에서 TE 편광의 경우 22.5.deg./Vmm의 위상변조특성을 얻었다.