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강유전체 YMnO3 박막 식각에 대한 CF4첨가효과
박재화, 김경태, 김창일, 장의구, 이철인 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2002, Vol.15 No.4 314-318 (5 pages)
강유전체 YMnO3 박막 식각에 대한 CF4첨가효과
박재화, 김경태, 김창일, 장의구, 이철인 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2002, Vol.15 No.4 314-318 (5 pages)