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- INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING(2)
- 대한기계학회론문집. TRANSACTIONS OF THE KOREAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS. A. A(2)
- 한국정밀공학회지(2)
- KIEE INTERNATIONAL TRANSACTIONS ON ELECTROPHYSICS AND APPLICATIONS(1)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. C/ C, 전기물성-응용부문(1)
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알루미늄 핀-조인트를 사용한 마이크로 미러의 제작과 측정
지창현, 김용권, Ji. Chang-Hyeon, Kim. Yong-Gwon 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 8 Pages
대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 2000, Vol.49 No.8 487-494 (8 pages)
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Development of an Ultra Precision Machine Tool for Micromachining on Large Surfaces
Park. Chun-Hong, Song. Chang-Kyu, Hwang. Joo-Ho, Kim. Byung-Sub 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 7 Pages
한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2009, Vol.10 No.4 85-91 (7 pages)
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Bio-MEMS : MEMS 기술의 의료 및 생물학 응용
장준근, 정석, 한동철 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2000, Vol.17 No.7 45-51 (7 pages)
지난 세기부터 MEMS 제작 기술을 이용하여 만들어진 시스템들을 의학이나 생물학적인 용도로 응용하기 위한 많은 연구가 활발히 이루어져 왔다. 기술적인 측면에서 이러한 연구들은 MEMS 분야의 초창기에 강조되어 온 표면 및 몸체 미세 가공 기술(surface ＆ bulk micromachining)과 같은 미세 구조물 제작 기술의 발전에 힘입은 바 크다. 그러나 MEMS 기술이 점차 발전되어 오면서, 가공 기술이 고도화되고 미세 시스템의 구조가 점차 복잡해짐에 따라, 많은 연구들이 단순한 가공기술을 넘어 미세 시스템을 조립하고 집적화할 수 있는... -
A Two-Step Micromirror for Low Voltage Operation
Hwang. Yong-Ha, Han. Seungoh, Lee. Byung-Kab, Kim. Jae-Soon, Pak. James Jungho 대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 6 Pages
대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 2005, No.0 270-275 (6 pages)
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실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2000, Vol.17 No.7 52-58 (7 pages)
최근 첨단 미세가공기술로 주목을 받고 있는 실리콘 마이크로머시닝 기술과 이를 기반으로 한 산업용 MEMS 개발현황을 소개한다. 전반부에서는 마이크로머시닝 기술의 종류를 소개하고 각각의 기술에 대해 기술근원, 미세가공원리와 기본 가공공정을 간략히 요약한 후 기전 집적형태의 마이크로머신과의 연계성을 고려한 시스템적인 측면에서의 기술특성을 상호 비교한다. 또한 가공의 양산성, 재현성, 조립성 측면에서 마이크로머시닝의 가공성을 조명함과 동시에 향후 발전방향을 전망한다.(중략)